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  • 真空干燥箱(帶HMDS系統)

    型號:HMDS系統

    在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要!

    帶預處理系統真空干燥箱HMDS6210

    型號:HMDS-6210(HASUC獨家產品)

    真空干燥箱真空度可達到133Pa,整個系統采用優質材料制造,無發塵材料,適用100 級光刻間凈化環境。

    半導體行業專用烘箱HMDS6210

    型號:HMDS-6210(HASUC自有品牌)

    半導體行業專用烘箱溫度分辨率為0.1℃溫度波動度為±0.5℃

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