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  • 烘箱

    產品名稱:半導體行業專用烘箱HMDS6210

    產品品牌:HASUC

    產品型號:HMDS-6210(HASUC自有品牌)

    包裝單位:臺

    產品分類:真空烘箱(HMDS系統)

    產品介紹及技術參數
    半導體行業專用真空烘箱溫度分辨率為0.1℃溫度波動度為±0.5℃,機外殼采用醫用級不銹鋼316L材質制造,內膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內膽外壁四周,內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內物體一目了然。
     
    帶HMDS 預處理系統真空烘箱
    型號:HMDS-6210
    電源電壓:AC 380V±10%/50Hz±2%
    輸入功率:4000W
    控溫范圍:室溫+10℃-250℃
    溫度分辨率:0.1℃
    溫度波動度:±0.5℃
    達到真空度:133Pa
    容積:210L
    工作室尺寸(mm):560*640*600
    外形尺寸(mm):720*820*1750
    載物托架:3塊
    時間單位:分鐘
    真空泵:國內好品牌,上!澳进櫋毙吞枺篋M-4,旋片式油泵。

    真空烘箱產品特點:
    1、機外殼采用不銹鋼SUS304材質制造,內膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內膽外壁四周,內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內物體一目了然。
    2、箱門閉合松緊能調節,整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內高真空度。
    3、微電腦智能控溫儀,具有設定,測定溫度雙數字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。
    4、智能化觸摸屏控制系統配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時間。
    5、HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。
    6、整個系統采用優質材料制造,無發塵材料,適用100 級光刻間凈化環境。 
       

    真空烘箱擴展知識介紹
    在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。
    產品證書
    干燥箱  干燥箱CE證書  干燥箱ROHS證書
    工廠圖片
    HASUC干燥箱生產車間  鼓風干燥箱工廠圖片

     
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